想要知道電子廠廢氣處理如何進(jìn)行就要先知道電子廠廢氣主要成分是什么，下面讓我們來(lái)了解一下吧。
 

　　電子工業(yè)有機(jī)廢氣VOCs的排放，對(duì)大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大，對(duì)該類污染物進(jìn)行有效控制和治理問(wèn)題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分，自上而下分為電子整機(jī)產(chǎn)品、電子基礎(chǔ)產(chǎn)品和電子材料三個(gè)層次。其中涵蓋：電子材料、半導(dǎo)體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
 

　　電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復(fù)雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來(lái)源于對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見(jiàn)的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯等。
 

　　一般來(lái)說(shuō)，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導(dǎo)體工藝過(guò)程中有機(jī)廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)，電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有氣體。
 

　　揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復(fù)雜，常見(jiàn)有機(jī)廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨(dú)運(yùn)用或無(wú)法達(dá)成經(jīng)濟(jì)高效運(yùn)行，或不能滿足嚴(yán)苛的排放標(biāo)準(zhǔn)。
 

　　電子廠廢氣處理方法
 

　　(1)預(yù)處理階段：一般采用噴淋塔先對(duì)廢氣進(jìn)行預(yù)處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
 

　　(2)主要處理階段：在此階段，比較常見(jiàn)而有效方法有：UV光解，生物過(guò)濾分解，焚燒和催化燃燒等。
 

　　這幾種方式各有優(yōu)劣，根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統(tǒng)去除VOCs氣體的方案。